掃描電子顯微鏡能測長嗎？

回答是肯定的。掃描電鏡本身的唯一功能不僅僅是用作微區(qū)放大,而且可以進(jìn)行微米、 納米微小尺度計(jì)量測量。目前在國內(nèi)能測量納米長度的儀器雖然有多種，然而具備真正意義的納米計(jì)量測量條件的儀器不多。在測量的同時(shí)又能直接顯示納米物體形態(tài)，而且有合理、合法的標(biāo)準(zhǔn)器、有計(jì)量檢定規(guī)程，可以實(shí)現(xiàn)計(jì)量溯源的儀器非掃描電子顯微鏡莫屬。

換一句話說，掃描電鏡不僅能測長，而且理應(yīng)成為許多實(shí)際測長應(yīng)用領(lǐng)域中最佳的測 量工具。

掃描電鏡測長的三個(gè)基本條件是什么？

掃描電鏡能否作為測長計(jì)量儀器所必需的三個(gè)條件是：

(1)必須有掃描電鏡的計(jì)量檢定規(guī)程

計(jì)量檢定規(guī)程應(yīng)對與掃描電鏡測長有關(guān)的儀器參數(shù)，如掃描電鏡分辨力的、圖像放大倍率等進(jìn)行校驗(yàn)或校準(zhǔn)并對重復(fù)性的確定，以及圖像畸變或線性失真度的校驗(yàn)等做出明確的規(guī)定，只有通過計(jì)量檢定的掃描電鏡才可以用于精確測長。

(2)必須有掃描電鏡的長度測量的標(biāo)準(zhǔn)方法

標(biāo)準(zhǔn)方法規(guī)定掃描電鏡在測長時(shí)應(yīng)遵循的步驟及應(yīng)注意的一些問題，只有嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)方法的規(guī)定執(zhí)行，才可能將測量的長度值追溯到長度基準(zhǔn)。

(3)必須有掃描電鏡測長用的長度標(biāo)準(zhǔn)器

在掃描電鏡計(jì)量檢定時(shí)所進(jìn)行的圖像放大倍率校準(zhǔn)和在測長標(biāo)準(zhǔn)方法規(guī)定的實(shí)際測量過程中都必須使用長度標(biāo)準(zhǔn)器。如2004年通過審查的三個(gè)柵網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)樣品（柵網(wǎng)的大小分別為 12.50μm（G125）、25.00μm（G250）、62.50μm、82.50μm、125.00μm、165.00μm（G4）)和正在研制的其他微米和納米量級的長度標(biāo)準(zhǔn)器就是這樣的長度標(biāo)準(zhǔn)器。它是這三個(gè)基本條件的核心。